對(duì)于半導(dǎo)體器材、印制電路板等外表形狀雜亂且易損壞的器材，其外表污物難于清潔的情況，介紹了一種根據(jù)SPCE061A單片機(jī)操控的超聲波清潔機(jī)。

根據(jù)超聲波清潔原理，剖析了超聲波清潔機(jī)的作業(yè)進(jìn)程，對(duì)超聲波清潔機(jī)的操控電路、驅(qū)動(dòng)電路、頻率主動(dòng)盯梢技能、阻抗匹配及系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)辦法進(jìn)行了具體介紹。該超聲波清潔機(jī)能夠完成頻率主動(dòng)盯梢、功率調(diào)理及守時(shí)等功用，別的有振動(dòng)、掃描兩種作業(yè)辦法可供挑選。試驗(yàn)標(biāo)明，該超聲波清潔機(jī)作業(yè)牢靠，清潔作用好。

超聲清潔是使用超聲波在清潔液中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用，發(fā)生的沖擊，將浸沒在清潔液中的工件內(nèi)外外表的污物震落剝離下來?，F(xiàn)在常用的超聲波清潔機(jī)中，以空化作用和直進(jìn)流作用為主。超聲波清潔機(jī)shou要應(yīng)用于電子、光學(xué)和醫(yī)療范疇，用來清潔半導(dǎo)體器材、印制電路板、玻璃器具等。

超聲波清潔機(jī)由超聲波發(fā)生器、超聲波換能器、超聲清潔槽及操控電路構(gòu)成。超聲波清潔機(jī)shou要使用超聲波發(fā)生器發(fā)生超聲波信號(hào)并傳入超聲波換能器，超聲波換能器將超聲波電能轉(zhuǎn)換為高頻機(jī)械振動(dòng)并傳入清潔液中，在清潔液中發(fā)生空化作用，然后到達(dá)超聲波清潔的目的[4-5]。

超聲波清潔機(jī)操控的關(guān)鍵是頻率盯梢，也即是使超聲波電源輸出頻率和換能器頻率共同，這么才干構(gòu)成共振，使換能器處于**好作業(yè)狀況，清潔作用**好?，F(xiàn)在，常用的頻率盯梢技能采用鎖相環(huán)辦法，該辦法簡(jiǎn)略易完成，盯梢作用好，但功用單一。

這篇文章采用單片機(jī)完成全數(shù)字操控，以便于設(shè)置有關(guān)參數(shù)。該機(jī)的shou要功用有頻率主動(dòng)盯梢、功率調(diào)理、振動(dòng)作業(yè)辦法、掃描作業(yè)辦法、守時(shí)功用。